在做半導體時石英坩堝為什么還要要套上石墨坩堝?
作者:jcshimo
發布時間:2021-01-28 13:36:48
石墨坩堝的主體原料,是結晶形天然石墨。故它保持著天然石墨原有的各種理化特性。
石墨坩堝具有杰出的熱導性和耐高溫性,在高溫使用過程中,熱膨脹系數小,對急熱、急冷具有必定抗應變功能。對酸,堿性溶液的抗腐蝕性較強,具有優良的化學穩定性。
石墨坩堝,因具有以上優良的功能,所以在冶金、鑄造、機械、化工等工業部門,被廣泛用于合金工具鋼的鍛煉和有色金屬及其合金的熔煉。并有著較好的技術經濟作用。
直拉法生產單晶硅時的情況,石英坩堝為什么要套上石墨坩堝?
主要起輔佐熱場穩定性進行拉制單晶硅的作用
1.石墨坩堝杰出的熱穩定性
2. 石墨坩堝杰出的耐腐蝕、耐沖擊功能、以保證產品質量的可靠性。
3. 石墨坩堝杰出的耐強酸 、強堿。
4. 石墨坩堝杰出的熱傳導功能:可以極大縮短熔煉時刻,節約能源。
5. 石墨坩堝的灰分小于300pp,保證貴金屬在鍛煉中不被污染。
具有杰出的中子減速功能,最早作為減速劑用于原子反應堆中,石墨反應堆是目前使用較多的一種原子反應堆。作為動力用的原子能反應堆中的減速資料應當具有高熔點、穩定、耐腐蝕的功能。
只是會增加熱阻,你放東西進去加熱作用會變得很差。當然如果你套得十分十分緊的話,加熱后石墨坩堝可能會裂開。石墨坩堝會在酒精燈上發生焚燒,石英坩堝因受熱不均可能會導致呈現裂縫 。
石英坩堝可在1650度以下使用,分通明和不通明兩種。用電弧法制的半通明石英坩堝是拉制大直徑單石英坩堝晶硅,是發展大規模集成電路必不可少的基礎資料。當今,國際半導體工業發達國家已用此坩堝取代了小的通明石英坩堝。它具有高純度、耐溫性強、尺度大、精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。